零點漂移是指當放大電路輸入信號為零時，由于受溫度變化，電源電壓不穩等因素的影響，使靜態工作點發生變化，并被逐級放大和傳輸，導致電路輸出端電壓偏離原固定值而上下漂動的現象。根據測試，各種三坐標漂移量是不同的，早期的測量機一般漂移量都比較大，新的機器就很小了。
    三坐標測量機都有一個基本功能，就是當工件沒有測完，經保存后可以關機，待重新開機后調出存儲文件便可繼續接著測量，而接著進行工件檢測時，還應對原工件參考零點進行必要的修正。
    三坐標的“零點漂移”和其回零行程開關有直接關系。由于光柵是沒有零位的，必須靠行程開關的觸發來設置零位。行程開關可以分為光電式，磁感式，機械開關式和壓感式等。三坐標通常采用工件坐標系，因此對回零的準確性比加工中心低一個數量級。通常采用成本低的霍爾元件感應開關，它的觸發穩定性不高。所以我們盡量一次性測完產品，中間不要關機或回零。
    機器回零的位置有偏差，就是三坐標的零點漂移。現在測量機的回零點的方法是：各軸按照定義的順序和方向往指定行程運動，當碰到行程終后往回搜索，當搜索到光柵尺的第一個零位標志后，即將光柵計數清零。這個點就說機器零點。
    通過以上描述我們可以判定：如果是光柵原點不能清零，則需要清潔光柵尺，調整讀數頭并且調諧。如果是機械開關或者光電磁開關導致不能回零，則需要更換開關。
    另外零點漂移好多是由于光柵電路電壓不穩定造成的，可以換個電源模塊。